產(chǎn)品特點:
.使用甲基異丁基甲酮和硅氧烷為載體的混合溶劑。FOX-15是一種可流動的無機聚合物,滿足工業(yè)對改進介電材料、潛在的高溫粘合和表面平滑處理的需求。
.不刻蝕,可控制膜厚,僅為0.95μm。高度透明,在紫外線下可轉換為SiO2 -使其成為良好防腐材料。
材料的流動特性。
·低粘度:自流平便于操作。局部平坦化能力,表面平滑,,間隙填補能力優(yōu)異。
注意事項:
·本品須冷藏保存。
·本品不可用任何溶劑進行稀釋。
使用方法:
.使用標準旋涂設備,在一定寬度范圍內(nèi)旋涂
.旋涂后,進行加熱是溶劑揮發(fā),并使材料熔融。
適用場合:
.半導體,用于高溫應用的透明材料粘接
.多層金屬集成電路設計中的層間介質(zhì)材料